eeuss影院www在线观看免费是 到目前为止，上海微电子装备有限公司研发的90纳米工艺节点光刻机已经投入使用，预计这一两年会提交首台28纳米节点的国产浸没式光刻机。但即便交付，这一产品还要经过验证，距离真正上生产线，还需要一到两年。2017年，长春光机所的“极紫外光刻关键技术研究”重大科技专项通过验收。去年2月，清华大学团队报告了“稳态微聚束”首个原理验证实验，这对于输出大功率、更短波长的极紫外光源提供一种新思路
31个省（自治区、直辖市）和新疆生产建设兵团报告新增无症状感染者120例，其中境外输入66例，本土54例（广西9例，上海8例，北京7例，辽宁7例，吉林5例，河北4例，内蒙古4例，天津3例，山东3例，河南2例，江苏1例，浙江1例）。
累计收到港澳台地区通报确诊病例2530791例。其中，香港特别行政区332547例（出院62381例，死亡9380例），澳门特别行政区83例（出院82例），台湾地区2198161例（出院13742例，死亡2521例）。
到目前为止，上海微电子装备有限公司研发的90纳米工艺节点光刻机已经投入使用，预计这一两年会提交首台28纳米节点的国产浸没式光刻机。但即便交付，这一产品还要经过验证，距离真正上生产线，还需要一到两年。2017年，长春光机所的“极紫外光刻关键技术研究”重大科技专项通过验收。去年2月，清华大学团队报告了“稳态微聚束”首个原理验证实验，这对于输出大功率、更短波长的极紫外光源提供一种新思路。
本报记者 郭志宇 【编辑:郭志宇 】